隨著科技的飛速發展，濺射靶材作為薄膜材料制備的關鍵材料，其需求量正持續增長。中國企業超卓航科憑借領先的冷噴涂技術，成功制造出高純度、高密度、高性能的濺射靶材，為我國高端濺射靶材產業的發展注入了強大動力。

圖：超卓航科生產拍攝

濺射靶材是制備半導體晶圓、顯示面板、太陽能電池等表面電子薄膜的核心材料。其純度、致密度和成分均勻性等性能對下游客戶的鍍膜質量具有直接影響。超卓航科所采用的冷噴涂技術，作為一種頗具前景的固態粉末沉積方法，具備沉積效率高、材料致密幾乎無缺陷、性能優越等優勢。這種技術在制造高密度、高純度的濺射靶材方面具有巨大潛力，能夠滿足日益嚴格的性能要求。

圖：超卓航科在靶材背襯上噴涂成大尺寸、高純度的銀靶材材料

超卓航科成功應用冷噴涂技術制造出Zn、Al、Cu、Ag、Ti、Nb、Ta等多種金屬與合金靶材。這些靶材不僅直接成型生產效率高，與背襯的結合強度也超過80 MPa，晶粒更細小，氧含量低，均質穩定，大幅提升了靶材壽命。此外，這些靶材的致密度高，幾乎沒有氣孔，濺射過程中不會出現異常放電現象，具有良好的表面質量。

圖：超卓航科冷噴涂增材制造鋁靶材

隨著顯示行業的回暖，平面顯示器市場持續擴大，其中以液晶顯示（LCD）為主導。濺射靶材作為薄膜制備的主流工藝，其需求量將進一步增長。超卓航科的濺射靶材產品廣泛應用于平面顯示器、集成電路半導體、太陽能電池、信息存儲、光學鍍膜、電子器件等領域。其中，集成電路用靶材在全球市場中占據重要地位，薄膜太陽能電池的背電極環節以及異質結電池的導體層也大量使用濺射靶材。

值得一提的是，異質結電池作為下一代主流電池片技術，具有能量轉化高和成本降低空間大的優勢。隨著異質結電池產能的快速擴張，太陽能電池用靶材的需求將有望進一步增長。尤其是ITO靶材（氧化銦錫膜），作為異質結電池的透明導電膜，其需求量將大幅增加。

此外，隨著信息存儲產業的不斷發展，記錄介質用靶材的需求量也在不斷增長。硬盤、磁頭、光盤等數據存儲產品的制造都需要使用高品質的濺射靶材。在信息存儲產業中，常用的靶材包括鈷、鉻、碳、鎳、鐵、貴金屬、稀有金屬和介質材料等。

超卓航科憑借先進的冷噴涂技術，成功打破了國外技術壟斷，填補了國內高端濺射靶材市場的空白。這一突破不僅提升了我國在高端濺射靶材領域的國際競爭力，也為先進制造業的高質量發展注入了強大動力。

超卓航科表示將繼續深耕高端濺射靶材產業，加大研發投入，推動技術創新，不斷提升產品性能和品質。同時，該公司還將積極拓展應用領域，深化與各行業的合作，共同推動我國高端濺射靶材產業的繁榮發展。